近日，由可迪爾為某高端半導(dǎo)體裝備公司量身定制的廢氣治理項目順利完成驗收并投入使用。一起來看~

高端制造背后的環(huán)保挑戰(zhàn)

業(yè)主不僅是擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備制造商，還是我國在12英寸大生產(chǎn)線上實現(xiàn)CMP設(shè)備大規(guī)模量產(chǎn)的企業(yè)，其產(chǎn)品覆蓋CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備等關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、先進封裝、大硅片、MEMS及Micro LED等前沿制造領(lǐng)域。

然而，在高端半導(dǎo)體裝備的精密制造過程中，難以避免產(chǎn)生成分復(fù)雜的有機廢氣與酸堿廢氣。這些廢氣若未經(jīng)有效處理，不僅影響車間空氣質(zhì)量與員工健康，更可能對環(huán)境造成影響。因此，構(gòu)建一套契合環(huán)保排放標(biāo)準、匹配實際生產(chǎn)需求的半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理方案，成為企業(yè)綠色發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

定制化半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理方案：精準、高效、可靠

針對業(yè)主復(fù)雜的廢氣類型與差異化的處理需求，可迪爾以“分質(zhì)分類、精準治理”為原則，設(shè)計并實施了三套廢氣治理系統(tǒng)，形成了完整的半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理閉環(huán)解決方案：

半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理—酸性廢氣治理系統(tǒng)

處理風(fēng)量：20,000m3/h

主要成分：酸性氣體

處理工藝：采用高效酸洗廢氣處理塔，通過中和反應(yīng)實現(xiàn)酸性物質(zhì)的安全轉(zhuǎn)化與達標(biāo)排放。

半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理—有機廢氣治理系統(tǒng)

處理風(fēng)量：20,000m3/h

主要成分：IPA、丙酮、PGMEA、PGME、NMP

處理工藝：采用兩套活性炭吸附系統(tǒng)（一用一備），確保連續(xù)運行與高效吸附，實現(xiàn)VOCs的穩(wěn)定去除。

半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理—堿性廢氣治理系統(tǒng)

處理風(fēng)量：30,000m3/h

主要成分：堿性氣體

處理工藝：通過堿洗廢氣處理塔進行中和吸收，有效控制堿性物質(zhì)排放。

半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理系統(tǒng)優(yōu)勢與項目價值

全流程閉環(huán)管理：從廢氣收集、分類輸送至凈化處理，實現(xiàn)全過程管控，杜絕二次污染。

“一用一備”設(shè)計：在有機廢氣處理系統(tǒng)中設(shè)置備用單元，保障生產(chǎn)連續(xù)性，增強系統(tǒng)可靠性。

高度契合生產(chǎn)實際：系統(tǒng)設(shè)計緊密結(jié)合業(yè)主生產(chǎn)工藝與廢氣產(chǎn)生特點，確保治理效率與生產(chǎn)節(jié)奏相匹配。

作為專業(yè)的半導(dǎo)體裝備公司廢氣治理方案提供者，可迪爾通過本次項目的成功實施，不僅助力業(yè)主落實國家及地方環(huán)保政策要求，更提升了其在高端制造領(lǐng)域的綠色形象與可持續(xù)發(fā)展能力。